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粉末微注射技术

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粉末微注射技术

发布日期:2017-10-14 作者:汽车注塑件厂家 点击:

一、粉末微注射成形技术发展概况

    随着技术进步和创新速度的加快,元器件的微型化和高性能已成为一种发展趋势,这极大地推动了微细加工技术的发展。同期,20世纪80年代兴起的微机电系统(micro electron mechanical system,简称MEMS)技术也取得了长足进展,并已成为当今应?#20204;?#26223;广阔的重要新技术之一,正逐渐实?#25191;邮?#39564;?#24050;?#31350;为主向工业应用开发的转移。由于该技术具有体积小、重量轻、性能高、可批量生产、能耗低等特点,使其在信息与通讯、生物医疗、汽车工业、国防、航空航天、核工业领域显示出了广泛的应?#20204;?#26223;,它必定会对社会生产方式和人类的进步产生重大影响,故微结构制造技术被认为是21世纪最有发展潜力的高科技产业[1,2,3]。总的来看,随着微系统技术研究的逐渐深入,微结构制造技术得到了快速发展。相应地,微结构制造技术也进一步推动了微系统技术的发展与创新。

    微机电系统首先是在快速发展的微电子制造工艺的基础上制作的,但微电子工艺?#20849;?#33021;满足微电子机械系统对制造技术的要求。微机电系统不仅包含了各种半导体器件,还包括了各种微齿轮、微泵、金属滤网、微电机、微红外滤波器、微加速度传感器、微光谱仪等多种微结构件,相应地,与之相对应的制造技术包括:微电子制造工艺、LIGA和准LIGA技术、微细电火花加工、激光微细加工?#21462;?#24494;细加工技术的发展推动着微机电系统在各个领域得到了广泛的应用,并朝着批量化、市场化的方向发展[3,4,5]。

值得一提的是,由于微系统及微制造技术是在微/纳米尺寸领域进行研究的,很多在大尺寸结构中可以忽略的问题在微系统中极有可能成为关键,加上尺寸效应的影响,也会出现一些新问题,如重力、惯性力、摩擦力、弹性力、粘性力、电磁力、表面张力、静电力等力的尺寸效应[6]。

    一般,根据加工材料的不同,MEMS加工技术主要包括:硅基和非硅基两种加工技术。硅基MEMS加工技术是在硅片上制作MEMS器件,此技术主要来源于传?#36710;?#24494;电子加工技术,因?#21496;?#26377;批量化、低成本、集成度高等?#35834;恪?#38750;硅基MEMS加工技术主要包括:LIGA(光刻,电镀和铸造工艺)、准LIGA、精密机械加工等加工技术,非硅基MEMS加工技术可得到更大纵向尺寸的可动微结构,缺点是批量加工能力、重复性差,而且具有较高的加工成本[7]。现将几种常见的微加工技术作了比较,


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